5、大族激光002008：大族激光(002008.SZ)5月27日在出资者互动渠道表明，公司光刻机项目分辨率3-5μm，首要聚集在分立器材、LED等范畴的运用，已完成小批量出售。

  6、奥普光电002338：公司是长春光机所控股下的仅有上市渠道，90纳米光刻机曝光体系是长春光机所联合其他单位在国家专项资金的支持下展开的研制项目。企业主导产品为光电经纬仪光机分体系、航空/航天相机光机分体系、K9光学玻璃等。公司出产的光电测控仪器设备首要运用在于新式配备配套、现有配备升级换代。

  7、北方华创002371：半导体设备龙头，能供给除了光刻机（阿麦斯独占）以外的一切半导体设备，也被称为半导体职业的“卖铲人”，第三代半导体方面也有相应的长晶设备和芯片的制作设备。某一种意义上看，是真实的大国重器，半导体设备的打破首看华创。

  成功精细002426：现在光刻机零部件项目暂无实质性发展，后续如有发展，公司将依照相关规定及时实行信息揭露发表责任。

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